ALD3系列美國(guó)swagelok隔膜閥工作原理及組成

美國(guó)swagelok是半導(dǎo)體芯片制造應(yīng)用的技術(shù)和解決方案提供商，同時(shí)也是 ALD 閥門(mén)技術(shù)的*。我們的 ALD 超高純 (UHP) 閥具有以下特點(diǎn)：
高速啟動(dòng)下的超高循環(huán)壽命
Cv 范圍從 0.27 至 1.7
使用熱動(dòng)元件時(shí)，全浸沒(méi)溫度高達(dá) 392°F (200°C)
適合于采用標(biāo)準(zhǔn) 316L VIM-VAR 不銹鋼閥體的 UHP 應(yīng)用
模塊化表面安裝、卡套管對(duì)焊和 VCR端接
電子或光學(xué)執(zhí)行機(jī)構(gòu)位置傳感選購(gòu)件
ALD3系列美國(guó)swagelok隔膜閥工作原理及組成如下：
隔膜閥用耐腐蝕襯里的閥體和耐腐蝕隔膜代替閥芯組件，利用隔膜的移動(dòng)起調(diào)節(jié)作用。隔膜閥的閥體材料采用鑄鐵、鑄鋼，或鑄造不銹鋼，并襯以各種耐腐蝕或耐磨材料、隔膜材料橡膠及聚四氟乙烯。襯里的隔膜耐腐蝕性能強(qiáng)，適用于強(qiáng)酸、強(qiáng)堿等強(qiáng)腐蝕性介質(zhì)的調(diào)節(jié)。
隔膜閥的結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、流體阻力小、流通能力較同規(guī)格的其他類(lèi)型閥大；無(wú)泄漏，能用于高粘度及有懸浮顆粒介質(zhì)的調(diào)節(jié)。隔膜把介質(zhì)與閥桿上腔隔離，所以沒(méi)有填料介質(zhì)也不會(huì)外漏。但是，由于隔膜和襯里材料的限制，耐壓性、耐溫性較差，一般只適用于1.6MPa公稱(chēng)壓力和150℃以下。
隔膜閥的流量特性接近快開(kāi)特性，在60%行程前近似為線性,60%后的流量變化不大。氣動(dòng)形式的隔膜閥尚可附裝反饋信號(hào)、限位器及定位器等裝置，以適應(yīng)自控、程控或調(diào)節(jié)流量的需要。氣動(dòng)隔膜閥的反饋信號(hào)采用無(wú)觸點(diǎn)傳感技術(shù)。該產(chǎn)品采用薄膜式推進(jìn)氣缸，替代活塞氣缸，排除了活塞環(huán)易損壞，造成泄漏而導(dǎo)致無(wú)法推動(dòng)閥門(mén)啟閉的弊端。當(dāng)氣源發(fā)生故障時(shí)，尚可操作手輪使閥門(mén)啟閉。
ALD3系列美國(guó)swagelok隔膜閥密封原理：
隔膜閥的密封原理是靠操作機(jī)構(gòu)的向下運(yùn)動(dòng)壓下隔膜或隔膜組合件與堰式的襯里閥體或直通式襯里閥體的通道相密合，使之達(dá)到密封。密封比壓的大小靠關(guān)閉件向下的壓力大小來(lái)實(shí)現(xiàn)。由于閥體可以襯各種軟質(zhì)材料，如橡膠或聚四氟乙烯等；隔膜也是軟質(zhì)材料制成，如橡膠或合成橡膠襯里的聚四氟乙烯，故用較小的密封力就能達(dá)到*密封。 
隔膜閥只有閥體、隔膜和閥蓋組合件三個(gè)主要部件。隔膜把下部閥體內(nèi)腔與上部閥蓋內(nèi)腔隔開(kāi)，使位于隔膜上方的閥桿、閥桿螺母、閥瓣、氣動(dòng)控制機(jī)構(gòu)、電動(dòng)控制機(jī)構(gòu)等零部件不與介質(zhì)接觸，且不會(huì)產(chǎn)生介質(zhì)外漏，省去了填料函的密封結(jié)構(gòu)。
ALD 隔膜閥具有超長(zhǎng)的使用壽命、高速的啟動(dòng)和高達(dá) 0.62 的流量系數(shù)，與熱執(zhí)行機(jī)構(gòu)、位置傳感器和電磁閥配合使用，可在原子層沉積應(yīng)用場(chǎng)合實(shí)現(xiàn)佳性能。

ALD3系列美國(guó)swagelok隔膜閥規(guī)格：
工作壓力 真空至 145 psig (10.0 bar)
爆裂壓力 3200 psig (220 bar)
執(zhí)行壓力 50 至 90 psig（3.5 至 6.2 bar）
溫度 32° 至 392°F（0° 至 200°C）
流量系數(shù)(Cv) 0.27 或 0.62
閥體材料 316L VIM-VAR 不銹鋼
隔膜材料 鈷基高溫合金
端接
類(lèi)型（尺寸） 內(nèi)螺紋 VCR面密封接頭（1/4 in. 至 1/2 in.）
外螺紋 VCR 面密封接頭（1/4 in. 至 1/2 in.）
模塊化表面安裝高流量 C 型密封（1.125 in. 至 1.5 in.）
東莞市廣聯(lián)自動(dòng)化設(shè)備有限公司專(zhuān)業(yè)供應(yīng)進(jìn)口電磁閥、氣缸、泵、傳感器、繼電器、開(kāi)關(guān)、離合器、過(guò)濾器、濾芯、流量計(jì)、液位計(jì)、編碼器、伺服閥等產(chǎn)品。德國(guó)美國(guó)有公司，廠家一手貨源，詳請(qǐng)致電。